转载自：元素和同位素地球化学科学公众号

微区分析（Micro-area Analysis）是一种精密材料表征技术，它通过采用高分辨率的微束技术（如电子束、离子束、激光束等）对样品的微小区域（通常尺度在微米至纳米级别）进行精确的成分分析、结构测定以及形貌观察。这种技术能够获取样品局部的详细信息，而不受样品整体成分均一度的影响，对于地质学、材料科学、生物学、半导体工业等领域中的复杂材料研究具有重要意义。

以下是一些微区分析常用的技术手段：

1. 电子探针显微分析（Electron Probe Microanalysis, EPMA）：

2. 使用聚焦电子束轰击样品表面，产生的特征X射线用于定性和定量分析样品微区的元素组成。

3. 扫描电子显微镜-能谱分析（Scanning Electron Microscope-Energy Dispersive Spectroscopy, SEM-EDS）：

• 结合扫描电镜的高分辨成像能力与能谱仪对元素组成的检测，实现微区的形貌观测和成分分析。

4. 透射电子显微镜-电子能量损失谱（Transmission Electron Microscope-Electron Energy Loss Spectroscopy, TEM-EELS）：

• 透射电镜下的电子能量损失谱技术可以提供微区内的元素种类及其化学状态信息。

5. 激光烧蚀等离子体质谱（Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry, LA-ICP-MS）：

• 利用激光烧蚀样品表面微区，产生的气溶胶进入等离子体质谱进行元素同位素比和含量分析。

6. 二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS）：

• 通过离子束轰击样品表面，产生并检测二次离子，以达到对表面和亚表面层微区的深度剖析和元素、同位素分析。

在地球科学领域，微区表征是揭示地质过程、矿物演化及环境变迁的关键途径。近年来，随着科学技术的迅猛发展，一系列精密的微观与微量元素分析技术应运而生，如电子探针显微分析（EPMA）、扫描电子显微镜能谱分析（SEM-EDS）、透射电子显微镜能谱分析（TEM-EDS）、激光剥蚀电感耦合等离子体质谱（LA-ICP-MS）等。这些先进技术不仅实现了微米乃至纳米级别的高分辨率空间定位，还提供了对地球物质中微量元素种类、含量及其分布状况的深度洞察，有力推动了地球科学微观世界的认知进程。

注意：分辨率范围受具体设备和实验条件影响，以上仅为一般参考。每种技术均有其适用范围和局限性，选择哪种技术取决于具体的分析目标和样品属性。

聚焦离子束（FIB）、电子束光刻（Electron Beam Lithography, EBL）、光学光刻（Photolithography）三种加工）是现代微纳加工和集成电路制造领域不可或缺的关键技术。这三种技术在精密结构制造、微观尺度成像与分析、以及大规模集成电路生产等方面均发挥着至关重要的作用。

聚焦离子束、电子束光刻和光学光刻共同构成了支撑现代微细加工和纳米科技发展的关键技术支柱，它们在各自的领域内，无论是从基础科研探索到工业化生产实践，都展现出了卓越的技术能力和广阔的应用前景。

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