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透射电镜薄膜样品的制备

已有 7675 次阅读 2010-6-28 16:52 |个人分类:科研点滴|系统分类:科研笔记

制作透射电镜样品,是利用透射电镜研究问题的基础,没有成功的样品,一切基本为零。

制作透射电镜薄膜样品,要求必须手巧,切有耐性。因为自己个性大大咧咧,中间走了不少弯路,也许现在还在走弯路,不过人类进步的方式为螺旋曲线式上升,所以还是坚信自己终会制备出成功的薄膜样品。

自己研究的金刚石薄膜,是在多晶基体上面沉积多晶金刚石。其成分复杂自不待说,由于工艺为化学气相沉积,且基体为多晶,因此薄膜与基体的结合强度可想而之,薄膜的生长方式至今未看到所谓外延性。

由于人为因素及样品因素,制备成功样品概率实则太小,真是火烧眉毛,急之又急。

但是本是精巧活,越是着急,反倒越是坏事。制备出N多废样品后,每次磨样品时都告诫自己:“慢实则是快”,努力平静心态,试着在有耐心些,再有耐心些。

下面简述一下自己制备薄膜样品的一点点总结:

首先,对粘后的两块样品,横截面不可太宽,样品越宽,最后出孔位置不在截面的概率越大。也就是作废样品的概率越大。自己薄膜样品基体厚度较厚,现在是将膜一侧用石蜡加热固定,机械研磨另一侧基体至理想厚度,但是由于自己薄膜与基体粘合力的问题,一直也存有几分担心。

其次,样品在切削时,难免会有毛边存留,若是不除去的话,直接将两块样品对粘,则会导致粘合不紧,缝隙较大。这样的话,在进一步磨薄过程中,容易导致对粘两快裂开,样品废掉。 缝隙较大,在最终利用691减薄过程中,Ar离子束也比较容易,把薄膜打掉,样品还是废掉。

革命是辛苦的,前途是光明的,为了光明继续奋斗。



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